ULPA-Filter

ULPA-Filter (Ultra Low Penetration Air) sind Luftfilter der höchsten Filterklassen (U15, U16, U17 nach EN 1822) und stellen die leistungsfähigste Filtrationsstufe für Luft dar. Sie scheiden mindestens 99,9995 % aller Partikel der ungünstigsten Partikelgröße (MPPS) aus der Luft ab.

ULPA-Filter werden in hochsensiblen Bereichen eingesetzt, in denen selbst HEPA-Filter nicht ausreichend sind, etwa in der Halbleiterproduktion (Wafer-Fertigung), der Nanotechnologie, in BSL-4-Hochsicherheitslabors oder bei der Filterung radioaktiver Partikel. Aufgrund ihrer extrem feinen Faserstruktur haben ULPA-Filter einen höheren Druckverlust als HEPA-Filter und müssen besonders sorgfältig auf Leckagen geprüft werden.

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